Anne Hemeryck, Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes (N2IS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS-CNRS), 7 avenue du Colonel Roche BP 54200 31031 Toulouse cedex 4, France.

abstrait :

Dans le contexte de composants ou de dispositifs toujours plus petits et toujours plus performants, disposer de couches minces voire ultraminces de haute qualité (homogénéité, pureté chimique, présence des défauts) et directement intégrées avec une précision à l’échelle atomique, s’impose comme le verrou technologique actuel de la microélectronique.

Pour aider au développement de ces nouveaux matériaux nanostructurés et contribuer à leur plein essor, les simulations et la modélisation à l’échelle atomique apparaissent alors comme un outil stratégique permettant ainsi une caractérisation in situ des phénomènes se produisant à l’échelle nanométrique, là où l’expérience ne peut se porter. Le principal challenge que nous relevons ici est donc de comprendre comment la matière s’organise à cette échelle lors de la croissance des couches et ceci en fonction des paramètres de dépôt technologique. L’ambition à terme est de guider le technologue vers le développement de technologies avancées et de matériaux aux propriétés maîtrisées. Dans cet exposé, nous verrons comment par une approche multi-niveaux couplant calculs DFT et modèles méso ou macroscopiques, il est alors possible d’adresser les problématiques de croissance de couches (oxydation, dépôt d’oxydes ultraminces : SiO2, High-k), de surface (greffages chimiques, oxydes fonctionnels) ou d’interface (matériaux énergétiques).

biographie : 

Anne HEMERYCK est Chargée de Recherche au Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes - CNRS de Toulouse, France depuis 2011.

Ses thématiques de recherche relèvent de la modélisation multi-niveaux des matériaux réactifs rencontrés dans le domaine des micronanobiotechnologies, avec pour mission de développer de nouvelles stratégies de modélisation pour seconder les procédés. Ses activités couvrent une gamme d’applications variées autour de la compréhension et de la maitrise des surfaces et des interfaces, telles que les oxydes ultraminces, les matériaux énergétiques ou encore les oxydes fonctionnels.

Site web du groupe de Dr Hemeryck

 Cette conférence est présentée par le RQMP Versant Nord du Département de physique de l'Université de Montréal et le Département de génie physique de Polytechnique Montréal.