Expert en : Ondes, oscillations et instabilités dans les plasmas
MOISAN, Michel
Professeur émérite
- Physique des plasmas et des décharges électriques
- Décharges électriques RF et à hautes fréquences
- Plasmas à haute pression et à haut courant
- Gravure et nettoyage par plasma
- Ondes, oscillations et instabilités dans les plasmas
Le point de départ des travaux de recherche poursuivis est la création et la réalisation de nouvelles sources de plasmas entretenus par des champs électromagnétiques (de fréquences radio et micro-ondes, désignés conjointement champs haute-fréquence (HF)) ainsi que leur modélisation. Les résultats obtenus, notamment dans le domaine des ondes électromagnétiques de surface, ont été particulièrement bien reçus. Certains dispositifs d'excitation de ces ondes de surface comme le surfatron et le surfaguide ont été initialement protégés par des brevets et sont présentement couramment utilises aussi bien en recherche fondamentale qu'en industrie.
Parmi les différentes applications des plasmas qui ont été l'objet d'étude au cours des années, citons la gravure et le dépot de polymères, le dépôt de couches minces de diamant polycristallin (de taille nanométrique), un dispositif pour détruire les gaz a effet de serre utilises (par exemple CF4 et SF6) par les usines de microélectronique (commercialise par la société Air Liquide).
L'effort présent de recherche porte pincipalement sur l'utilisation du plasma (plus précisement de la post-décharge en flux du mélange N2-O2) pour inactiver les microorganismes dans le but d'arriver a une haute désinfection, voire a la stérilisation, d'objets médicaux. Les différents aspects requis pour obtenir la validation des autorités gouvernementales sont présentement examines en vue d'un transfert industriel.
Champs d'expertise
- Plasmas
- Décharges de hautefréquence (HF)
- Plasmas d'onde électromagnétique de surface
- Modélisation des décharges HF
- Contraction et décontraction des décharges à haute pression
- Stérilisation
- Désinfection
- Physique des plasmas collisionnels