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Experts en : Gravure et nettoyage par plasma

Margot, Joëlle

MARGOT, Joëlle

Professeure titulaire

Mes activités de recherche sont actuellement focalisées sur l'étude et les applications des plasmas froids. Dans ce cadre, je poursuis des recherches dans le domaine de la gravure de couches minces de matériaux pressentis pour diverses applications photoniques et radiofréquences. Je m'intéresse également aux applications des plasmas induits par laser . Ces études revêtent à la fois un caractère fondamental et appliqué, ce qui comprend la modélisation du plasma et sa caractérisation par le biais de divers moyens de diagnostic dont ceux faisant appel aux lasers (fluorescence induite par laser, photodétachement, etc.).

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Moisan, Michel

MOISAN, Michel

Professeur émérite

Le point de départ des travaux de recherche poursuivis est la création et la réalisation de nouvelles sources de plasmas entretenus par des champs électromagnétiques (de fréquences radio et micro-ondes, désignés conjointement champs haute-fréquence (HF)) ainsi que leur modélisation. Les résultats obtenus, notamment dans le domaine des ondes électromagnétiques de surface, ont été particulièrement bien reçus. Certains dispositifs d'excitation de ces ondes de surface comme le surfatron et le surfaguide ont été initialement protégés par des brevets et sont présentement couramment utilises aussi bien en recherche fondamentale qu'en industrie.

Parmi les différentes applications des plasmas qui ont été l'objet d'étude au cours des années, citons la gravure et le dépot de polymères, le dépôt de couches minces de diamant polycristallin (de taille nanométrique), un dispositif pour détruire les gaz a effet de serre utilises (par exemple CF4 et SF6) par les usines de microélectronique (commercialise par la société Air Liquide).

L'effort présent de recherche porte pincipalement  sur l'utilisation du plasma (plus précisement de la post-décharge en flux du mélange N2-O2) pour inactiver les microorganismes dans le but d'arriver a une haute désinfection, voire a la stérilisation, d'objets médicaux. Les différents aspects requis pour obtenir la validation des autorités gouvernementales sont présentement examines en vue d'un transfert industriel.

Champs d'expertise

  • Plasmas
  • Décharges de hautefréquence (HF)
  • Plasmas d'onde électromagnétique de surface
  • Modélisation des décharges HF
  • Contraction et décontraction des décharges à haute pression
  • Stérilisation
  • Désinfection
  • Physique des plasmas collisionnels
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Stafford, Luc

STAFFORD, Luc

Professeur titulaire

​Les travaux du professeur Stafford visent à mettre en place une nouvelle plateforme vouée à la physicochimie des plasmas froids hautement réactifs à la pression atmosphérique ainsi qu’à leurs applications à la synthèse et à la fonctionnalisation des matériaux et des nanomatériaux.

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