Expert en : Implantation et dépôt par plasma
STAFFORD, Luc
Professeur titulaire
- Physique des plasmas et des décharges électriques
- Matériaux nanostructurés : fabrication et caractérisation
- Implantation et dépôt par plasma
- Techniques et instrumentation de diagnostics plasmas
- Gravure et nettoyage par plasma
- Interactions plasma-matière
- Dépôt par vapeur chimique
- Canada (Québec)
- Ressources énergétiques
Les activités de recherche du professeur Stafford s’articulent autour de la physique des plasmas hautement réactifs et des interactions plasmas-surfaces ayant lieu au cours de la synthèse, de la gravure et de la modification par plasmas froids (hors équilibre thermodynamique) de matériaux et de nanomatériaux. Plus spécifiquement, la recherche s’oriente selon trois volets : i) Mise au point et diagnostics de sources avancées de plasmas froids hautement réactifs à basse pression et à la pression atmosphérique, (ii) Développement de nouveaux procédés basés sur de tels plasmas froids et (iii) Intégration de ces procédés basés sur les plasmas froids dans des secteurs stratégiques pour le développement économique du Québec et du Canada, en particulier dans le domaine de la fabrication et de la production industrielle, de la valorisation des ressources naturelles, de l'énergie et du développement durable.